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타원법 및 파동광학 연구실

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타원법 및 파동광학 연구실

 

 

지도교수: 김상열 (원천관 416호) / 안성혁 (원천관 410호)

 

 

연구내용

 

본 연구실에서는 타원법(Ellipsometry)을 이용하여 빛이 박막 구조를 가지는 시료에 반사 또는 투과하여 변화되는 빛의 편광 상태를 측정하고, 이를 바탕으로 시료의 구조, 물성, 이방성 등을 해석하여 시료에 대한 이해도를 향상시키고 있다. 분광 타원법(Spectroscopic Ellipsometry)에서는 여러 파장의 빛을 사용하므로 다층박막 구조의 시료도 다룰 수 있어 적용범위가 매우 넓다.

본 실험실에서는 자체적으로 수행하는 연구뿐만이 아니라 국내외 연구소와 학교 등의 의뢰를 받아 다양한 박막물질의 구조와 물성 분석연구를 병행하고 있다. 최근에는 (주)엘립소테크와 협력하여 초미세 광학 이방성을 측정하는 투과형 편광계를 제작하여 배향막의 광학이방성 등 초미세 광학 이방성을 정밀하게 측정할 수 있게 되었고 이를 사용하여 초미세 광학이방성의 공간분포 연구를 진행하고 있다. 투과형 편광계를 활용하면 LCD 제조 과정에서 사용되는 광학 필름의 불량을 평가하는 기준을 제시할 수 있으며, LG전자, 삼성전자 등과의 협력 연구를 모색하고 있다. 미세 광학이방성과 관련되는 최근의 또 다른 연구로 피복 연료입자(coated fuel particle)의 결함을 미세 영역에서 평가할 수 있는 장비의 개발연구가 있다. 핵분열용 연료입자로 부터의 방사능 유출을 막기 위해 열분해 흑연(PyC), 탄화규소(SiC), 알루미나(Al2O3), 산화베릴륨(BeO) 등으로 된 피복층을 입히는데 이 피복층들의 결함여부를 미세 영역에서 미세 광학 이방성 측정으로 확인할 수 있는 반사형 타원계를 ㈜엘립소테크가 제작하여 원자력 연구원에 제공할 수 있도록 긴밀하게 협력하였다.

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